ASML高管预言成真？中国研发出固态光源新技术，远景很大

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ASML这家荷兰公司，在芯片制造装备范畴那可是老迈，特别是光刻机，几近把持了高端市场提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。他们的首席履行官彼得·温尼克，几年前在采访里说过一句话，大意是假如美国继续制裁，中国人聪明得很，能够会自己搞出新技术来提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。

那时很多人感觉这家伙就是在客套，大概是为了倾销自产业物才这么说提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。没想到，这话没过几年，就有点像预言一样起头应验了提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。中国科学院比来搞出的全固态DUV光源技术，让人眼前一亮，这工具远景确切不小，能在芯片制造上玩出新花样提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
芯片制造的焦点装备就是光刻机，而光刻机的灵魂是光源系统提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。传统上，ASML的DUV光刻机用的是氟化氩准份子激光，靠气体激起发生193nm波长的光，用来刻7nm以上的芯片提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。更先辈的EUV光刻机则用极紫外光，能搞定7nm以下的工艺，但这玩意儿超级复杂，全天下就ASML能大范围生产提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
美国经过控制ASML的出口，来限制中国在高端芯片上的成长提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。温尼克在2023年1月的彭博采访里提到过，中国工程师有才能，假如被逼到墙角，会想出自己的门路提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。他那时夸大，制裁能够适得其反，鞭策中国自立创新提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。这话在那时被一些人解读为恭维，但现在看，确切有点事理提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。

转到中国这边的冲破提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。2025年3月，中国科学院光电技术研讨所的团队公布了他们的研讨功效：一种全固态的深紫外光源技术提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。这不是小打小闹，而是间接针对DUV光源的革新提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。传统DUV光源依靠稀有气体，像氩和氟的夹杂物，在高压电场下激起激光提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
但中科院的计划用固态晶体来取代气体，具体是用Yb:YAG晶体作为起点，发生1030nm的基频光，然后经过屡次谐波转换和光学参数放大，天生258nm和1553nm的两束光，最初在LBO晶体里夹杂，输出193nm的激光提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。功率今朝是70mW左右，频次6kHz，光谱纯度很高，半峰全宽只要0.11pm，这目标已经接近商用水平，能满足3nm制程的需求提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。

为什么说这技术远景大？首先，它绕开了ASML的专利墙提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。ASML的EUV和DUV技术有上万项专利，很多焦点部件来自美国公司，比如Cymer的光源供给商，原本就是美国企业，后来被ASML收买，但还是受美国禁令影响提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。中国这个固态计划从结构到材料都变了样，不用气体，避免了那些专利纠缠提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。成果呢？中国可以自己建系统，不用再求着买国外装备提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
其次，结构简单多了提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。传统光刻机体积庞大，像个小屋子，12米长、7米宽、4米高，里面零件复杂得要命提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。中科院这个固态光源能把整体体积缩小30%到50%，能耗降70%，这意味着生产本钱低，保护轻易，对工场来说是实打实的节省提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
第三，在性能上，它让DUV光刻性能干EUV的活提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。经过量重曝光技术，用这个光源就能制造7nm甚至3nm芯片，不必非得依靠EUV提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。这就即是给中国芯片产业开了条侧门，美国的制裁结果打折提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。

固然，这技术不是完善无缺提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。今朝功率还低，只要ASML准份子激光的0.7%，频次也只是人家的三分之二，短期内没法支持多量量生产提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。但这只是尝试室阶段，迭代空间大得很提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。团队已经在优化晶体放大效力，引入新泵浦源，估计两年内能推到工程考证提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。上海微电子装备公司已经起头适配测试，假如顺遂，很快就能进生产线提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
更酷的是，他们还加了涡旋光束元素，用螺旋相位板把光转成照顾轨道角动量的形式，这在全球是初创，能用在量子芯片光刻和超紧密缺点检测上提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。国际光学工程学会已经认可了这功效，颁发在专业期刊上，荷兰媒体甚至说这是中国在ASML盲区里开的疆场提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。

回过甚看温尼克的预言提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。他在2013年上任CEO前，是ASML的CFO，管财政那套，从1999年就起头在公司干活提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。2023年那次采访后，他的概念在行业里搅起波涛提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。ASML那时正被荷兰政府管着，不能卖EUV给中国，温尼克在财报会上频频说，全球供给链不能断，中国市场对他们很重要提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
但现实是，美国捏着焦点技术，ASML也没法完全自立提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。温尼克2024年4月退休时，公司市值已经很高，但他留下的那句话，现在看像是个警示提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。继任者克里斯托夫·富凯接手后，ASML还在推高NA EUV，但中国这边的消息让他们得警戒提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。

从全球格式说，这冲破能够重塑半导体产业链提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。中国占全球70%的成熟芯片产能，假如固态DUV量产，ASML在14nm到65nm的市场份额会受冲击提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。中国企业像华为和中芯国际，已经在用多重曝光等技能绕门路，现在加了这个光源，3nm工艺指日可待提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
这不可是技术事，还牵扯经济提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。光伏和高铁上，中国就用过换道超车战略，现在芯片也能够复制提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。哈工大之前试过Z箍缩技术做EUV光源，但还是基于传统门路，没这个固态计划完全提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
应战还在背面提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。功率要提升到百瓦级，稳定性得过产业关，得24/7跑不停提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。产业链整合也关键，光源得和光学系统、双工作台配上，中国光刻全链路才能在考验中提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。国际上，ASML CEO曾说中国十年内搞不出EUV，但现在DUV固态这步，让他们的话有点站不住脚提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。德国《明镜周刊》批评，这是对西方紧密制造的嘲讽提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。

远景大不大，得看落地提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。短期内，中国芯片自给率会升，削减对外依靠提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。持久看，假如EUV上也用固态思绪，更先辈芯片不是梦提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。行业专家分析，这技术不但光刻，还能扩大到其他光电范畴，像激光加工和医疗装备提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。全球半导体市场值万亿美圆，中国这步棋下得稳，ASML得调剂战略提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
ASML把持多年，但中国不宁愿被卡脖子，搞出自己的门路提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。远景很大，但也得一步步来提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。芯片业合作白热化，谁笑到最初，还得看谁迭代快提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。温尼克退休了，但他的预言像个提醒，创新不分版图，谁被逼急了，谁便能够爆发出惊人能量提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。中国这个固态光源，就是个例子，前路光亮，但得实干提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。