国产光刻机上市公司梳理

[db:作者] · 发表于 2025-11-3 11:36

国产光刻机上市公司梳理一、整机与生态整合1. 张江高科：经过子公司持有上海微电子（SMEE）9.09%股权，后者是国内唯一能量产90nm光刻机并冲刺28nm技术的整机厂商，是国产光刻机整机环节的焦点受益标的提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
2. 上海电气：上海微电子（SMEE）母公司，承当整机研发资金支持与产业链资本整合职能，旗下“上海微装”已获得中芯国际批量定单，深度介入国产光刻机贸易化落地提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
二、光学系统（占装备本钱20-30%）3. 茂莱光学：DUV物镜系统已稳定进入SMEE供给链，28nm物镜组面形精度达0.5nm RMS，同时中标ASML合作项目，实现国产光学元件国际化冲破提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
4. 奥普光电：长春景机所控股企业，主导EUV物镜系统研发，光栅编码器定位精度达0.8nm，技术对标国际龙头德国蔡司，是国产高端光学系统的焦点攻关主体提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
5. 福晶科技：全球唯一能量产KBBF深紫外非线性晶体，EUV光源用晶体已进入中科院考证阶段，为国产EUV光源冲破供给关键材料支持提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
6. 波长光电：光刻机准份子激光器光学元件主力供给商，技术周全覆盖193nm ArF激光链路，是DUV光刻光源光学系统的焦点配套企业提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
7. 永新光学：依托高端显微技术延长，实现光刻机瞄准检测模块光学部件国产化独家供给，保障光刻进程中晶圆定位精度提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
三、紧密机械/控制/温控8. 赛微电子：MEMS镜片成功打入ASML供给链，同时为国产光刻镜头供给焦点部件，是兼具国际供给链与国产替换弹性的关键标的提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
9. 电科数字：中国电科旗下企业，供给光刻机纳米级位移控制与活动平台系统处理计划，支持光刻装备高精度机械活动控制提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
10. 同飞股份：淹没式光刻机温控系统精度达±0.01℃，客户覆盖SMEE、中芯国际，保障光刻进程中温度稳定性以控制线宽误差提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
11. 富创紧密：ASML认证结构件供给商，7nm装备真空腔体、气体传输系统已批量出货，同时为国产光刻机供给紧密结构支持提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
四、清洗/干净/涂胶显影12. 蓝英装备：全球唯一为ASML供给EUV光刻机清洗装备的厂商，颗粒残留控制
13. 美埃科技：国产半导体干净室标准制定者，中芯国际、长江存储光刻环节干净系统主供给商，保障光刻情况无尘要求提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
14. 赢合科技：经过子公司斯科尔切入涂胶显影装备范畴，覆盖光刻前道关键工艺，实现光刻胶涂覆与显影环节国产化配套提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
五、材料与工艺15. 南大光电：国内唯一量产ArF光刻胶（干式/淹没）并经过中芯国际考证的企业，配套28nm制程，打破外洋光刻胶把持提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
16. 晶瑞电材：实现i-line、KrF光刻胶范围化利用，并向ArF光刻胶延长，构建全波段光刻胶产物矩阵，满足分歧制程需求提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
17. 苏大维格：纳米压印光刻掩膜技术冲破，独家向SMEE供给定位光栅，成功替换德国Heidenhain产物，保障光刻瞄准精度提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
六、气路与超高纯系统18. 新莱应材：超高真空气体传输系统泄露率达10⁻⁹ Pa·m³/s，客户覆盖SMEE、北方华创等焦点装备商，保障光刻进程中特种气体输送纯度提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
七、检测/维修/后道办事19. 晶方科技：光刻机光路检测模组经过ASML认证，2024年出货1.2万套，替换美国KLA-Tencor产物，实现光刻装备检测环节国产化提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
20. 东方嘉盛：国内首个光刻机保税维修中心落地企业，2024年维求学务营收同比增加217%，为存量光刻机装备供给关键运维支持提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。
以上20家A股公司覆盖国产光刻机整机研发、焦点零部件、材料及配套办事全链条，组成“国产光刻机”主题投资的焦点观察池提出申请的零售商必须在新米大量上市的8月底前完成储备米销售。