国产光刻机上市公司梳理
国产光刻机上市公司梳理一、整机与生态整合1. 张江高科：通过子公司持有上海微电子（SMEE）9.09%股权，后者是国内唯一能量产90nm光刻机并冲刺28nm技术的整机厂商，是国产光刻机整机环节的核心受益标的。2. 上海电气：上海微电子（SMEE）母公司，承担整机研发资金支持与产业链资源整合职能，旗下“上海微装”已获得中芯国际批量订单，深度参与国产光刻机商业化落地。
二、光学系统（占设备成本20-30%）3. 茂莱光学：DUV物镜系统已稳定进入SMEE供应链，28nm物镜组面形精度达0.5nm RMS，同时中标ASML合作项目，实现国产光学元件国际化突破。
4. 奥普光电：长春光机所控股企业，主导EUV物镜系统研发，光栅编码器定位精度达0.8nm，技术对标国际龙头德国蔡司，是国产高端光学系统的核心攻关主体。
5. 福晶科技：全球唯一能量产KBBF深紫外非线性晶体，EUV光源用晶体已进入中科院验证阶段，为国产EUV光源突破提供关键材料支撑。
6. 波长光电：光刻机准分子激光器光学元件主力供应商，技术全面覆盖193nm ArF激光链路，是DUV光刻光源光学系统的核心配套企业。
7. 永新光学：依托高端显微技术延伸，实现光刻机对准检测模块光学部件国产化独家供应，保障光刻过程中晶圆定位精度。
三、精密机械/控制/温控8. 赛微电子：MEMS镜片成功打入ASML供应链，同时为国产光刻镜头提供核心部件，是兼具国际供应链与国产替代弹性的关键标的。
9. 电科数字：中国电科旗下企业，提供光刻机纳米级位移控制与运动平台系统解决方案，支撑光刻设备高精度机械运动控制。
10. 同飞股份：浸没式光刻机温控系统精度达±0.01℃，客户覆盖SMEE、中芯国际，保障光刻过程中温度稳定性以控制线宽误差。
11. 富创精密：ASML认证结构件供应商，7nm设备真空腔体、气体传输系统已批量出货，同时为国产光刻机提供精密结构支撑。
四、清洗/洁净/涂胶显影12. 蓝英装备：全球唯一为ASML提供EUV光刻机清洗设备的厂商，颗粒残留控制
13. 美埃科技：国产半导体洁净室标准制定者，中芯国际、长江存储光刻环节洁净系统主供应商，保障光刻环境无尘要求。
14. 赢合科技：通过子公司斯科尔切入涂胶显影设备领域，覆盖光刻前道关键工艺，实现光刻胶涂覆与显影环节国产化配套。
五、材料与工艺15. 南大光电：国内唯一量产ArF光刻胶（干式/浸没）并通过中芯国际验证的企业，配套28nm制程，打破海外光刻胶垄断。
16. 晶瑞电材：实现i-line、KrF光刻胶规模化应用，并向ArF光刻胶延伸，构建全波段光刻胶产品矩阵，满足不同制程需求。
17. 苏大维格：纳米压印光刻掩膜技术突破，独家向SMEE供应定位光栅，成功替代德国Heidenhain产品，保障光刻对准精度。
六、气路与超高纯系统18. 新莱应材：超高真空气体传输系统泄漏率达10⁻⁹ Pa·m³/s，客户覆盖SMEE、北方华创等核心设备商，保障光刻过程中特种气体输送纯度。
七、检测/维修/后道服务19. 晶方科技：光刻机光路检测模组通过ASML认证，2024年出货1.2万套，替代美国KLA-Tencor产品，实现光刻设备检测环节国产化。
20. 东方嘉盛：国内首个光刻机保税维修中心落地企业，2024年维修业务营收同比增长217%，为存量光刻机设备提供关键运维支持。
以上20家A股公司覆盖国产光刻机整机研发、核心零部件、材料及配套服务全链条，构成“国产光刻机”主题投资的核心观察池。
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